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微電子研究所KW-5型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x100-200mm

更新時(shí)間：2026-01-08

簡(jiǎn)要描述：

微電子研究所KW-5型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x100-200mm

 參數(shù)：

手動(dòng)旋鈕控制 

1-22120422464V36.jpg        

       > 基片尺寸φ100-φ200mm圓片（4英寸~8英寸） 
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%，膠的均勻性±5% 
        > 轉(zhuǎn)速：500-5000轉(zhuǎn)/分 
        > 勻膠階段：2段 
        > 勻膠時(shí)間：Ⅰ速0~18S,；Ⅱ速0~60S 
        > 電機(jī)功率：180W 
        > 整機(jī)尺寸（長(zhǎng)寬高）：425mmx500mmx300mm 
        > 適應(yīng)用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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