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中科院微電子KW-4T觸屏型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/片托吸盤配件

更新時(shí)間：2026-01-08

簡(jiǎn)要描述：

中科院微電子KW-4T觸屏型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x
        > 基片尺寸φ5-φ100mm圓片、100x100mm2方片 
        > 轉(zhuǎn)速：250-9000轉(zhuǎn)/分 
        > 特點(diǎn): 任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié) 
        > 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：<±1%，膠的均勻性<±1% 
        > 勻膠階段：6段 
        > 勻膠時(shí)間：每個(gè)階段0-1800S可調(diào) 
        > 電機(jī)功率：40W 
        > 整機(jī)尺寸（長(zhǎng)寬高）：210mm×280mm×248mm 
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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